xx公司光罩产业行动计划(参考意见稿).docx

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资源描述

xx公司光罩产业行动计划20xx年xx月目录一、 指导路线2二、 指导原则2三、 区域发展环境4四、 规划目标5五、 产业背景分析6六、 保障措施7重点项目分析:xx项目10重点项目分析:xx项目13重点项目分析:xx项目17光罩又称光掩模版、掩膜版,由石英玻璃作为衬底,在上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。以质量和效益为中心,以供给侧结构性改革为主线,以创新驱动发展为动力,以坚持转型发展、创新发展为路径,积极推动行业转型升级,增强行业核心竞争力。区域行业产业结构优化取得重大进展 ,行业现代化发展水平显著提高。当前是我国加快转变经济发展方式的关键时期,为加快区域产业转型升级,提升产业核心竞争力,促进行业持续健康发展,提出本指导意见。一

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