xx区光罩产业实施方案（参考意见稿）.docx

泓域咨询/xx区光罩产业实施方案xx区光罩产业实施方案20xx年20xx年目录一、 原则3二、 发展思路3三、 背景分析4四、 区域发展环境5五、 主要任务规划9六、 保障措施11重点项目分析：xxx投资管理公司xx项目14重点项目分析：xx项目21重点项目分析：xx项目28光罩又称光掩模版、掩膜版，由石英玻璃作为衬底，在上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。以转型升级、提质增效为主线，以技术创新和管理创新为支撑点，加快推进供给侧结构性改革，扩大新型产品生产和应用，积极开展产能合作，有效提高区域产业的质量和效益。 为了加快区域产业结构调整和优化升级，推进未来