xx区光罩产业发展建议(参考意见稿).docx

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泓域咨询/xx区光罩产业发展建议xx区光罩产业发展建议20xx年目录一、 发展思路2二、 原则2三、 区域产业条件3四、 任务重心8五、 规划目标9六、 保障方案10重点项目分析:xx项目14重点项目分析:xx项目17为促进产业转型升级、由大变强、可持续发展,特制定改规划方案,请结合实际认真贯彻实施。光罩又称光掩模版、掩膜版,由石英玻璃作为衬底,在上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。改革开放以来,相关产业得到较快的发展,整体素质明显提高。随着我国工业化和城镇化进程的加快,相关产品及服务消费将继续保持较高的水平,产业也将进入新的发展时期。一、 发展思路坚定不移贯彻“创新、协调、绿色、开放、共享”的新发展理念,坚持“全面推进、重点突出、分类实施

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