xx区光罩产业高质量发展提升方案（意见稿）.docx

泓域咨询/xx区光罩产业高质量发展提升方案xx区光罩产业高质量发展提升方案产业投资建设规划目录一、 发展原则3二、 规划路线3三、 区域环境分析4四、 任务重心9五、 发展目标11六、 实施保障11重点项目分析：xx项目15重点项目分析：xx项目21为加快推进产业发展，结合实际，制定本规划。光罩又称光掩模版、掩膜版，由石英玻璃作为衬底，在上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。以质量和效益为中心,以供给侧结构性改革为主线,以创新驱动发展为动力,以坚持转型发展、创新发展为路径,积极推动行业转型升级,增强行业核心竞争力。区域行业产业结构优化取得重大进展 ,行业现代化发展水