xx区光罩产业实施方案（意见稿）.docx

xx区光罩产业实施方案20xx年xx月目录一、 发展原则3二、 指导思路4三、 产业环境分析4四、 区位背景分析6五、 保障措施10重点项目分析：xx项目12重点项目分析：xx项目17重点项目分析：xx项目22为促进产业转型升级、由大变强、可持续发展，特制定改规划方案，请结合实际认真贯彻实施。光罩又称光掩模版、掩膜版，由石英玻璃作为衬底，在上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。加强产业政策与财税、金融等相关政策的衔接，支持各类社会资本参与企业并购重组，合力推进产业稳增长、调结构、转型升级、降本增效。积极协调落实相关配套政策，加强对区域的督促指导，统筹推进各项工作。