xx市光罩行业提质增效行动方案（参考意见稿）.docx

xx市光罩行业提质增效行动方案行业发展实施规划目录一、 发展原则3二、 指导路线4三、 目标规划4四、 重点任务5五、 产业背景分析6六、 区域产业条件7七、 实施保障12重点项目分析：xx项目15重点项目分析：xx项目20光罩又称光掩模版、掩膜版，由石英玻璃作为衬底，在上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。现阶段，相关产业依托巨大的市场需求，应对经济全球化的新变化，继续保持强劲的增长势头，行业发展总体水平有了较大提高，基本实现了上一阶段产业规划确定的主要发展目标。为加快区域产业结构调整和优化升级，依据国家和xx省产业发展规划，结合区域产业xx年发展情况，制定