xx市光罩行业行动计划（参考意见稿）.docx

xx市光罩行业行动计划20xx年20xx年目录一、 发展原则3二、 发展路线3三、 区域发展环境4四、 规划目标7五、 措施保障8重点项目分析：xx有限公司xx项目12重点项目分析：xx项目17重点项目分析：xx项目21光罩又称光掩模版、掩膜版，由石英玻璃作为衬底，在上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。改革开放以来，相关产业得到较快的发展，整体素质明显提高。随着我国工业化和城镇化进程的加快，相关产品及服务消费将继续保持较高的水平，产业也将进入新的发展时期。当前是我国加快转变经济发展方式的关键时期，为加快区域产业转型升级，提升产业核心竞争力，促进行业持续健康发展，