光罩行业发展建议（意见稿）.docx

光罩行业发展建议目录一、 指导路线3二、 发展原则3三、 任务重心4四、 发展目标5五、 产业背景分析6六、 保障措施7重点项目分析：xx项目11重点项目分析：xx项目17光罩又称光掩模版、掩膜版，由石英玻璃作为衬底，在上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。深入贯彻落实科学发展观，依托资源优势，加快产业发展，促进结构调整升级。形成新的经济增长点；加强行业指导，推进联合重组，提高产业集中度，形成一批大企业、大集团，推动产业做大做强，促进区域经济社会又好又快、更好更快地发展。为加快区域产业结构调整和优化升级，依据国家和xx省产业发展规划，结合区域产业xx年发展情况，制定