光掩模玻璃基板公司工程准备阶段的质量管理目录第一章 行业背景分析3第二章 项目基本情况5一、 项目名称及建设性质5二、 项目承办单位5三、 项目实施的可行性6四、 项目建设选址7五、 建筑物建设规模7六、 项目总投资及资金构成7七、 资金筹措方案8八、 项目预期经济效益规划目标8九、 项目建设进度规划9第三章 宏观环境分析11第四章 公司简介13一、 基本信息13二、 公司简介13三、 公司主要财务数据14第五章 工程项目准备阶段的质量管理16一、 设计阶段质量管理的工作内容16第一章 行业背景分析光刻掩膜版，简称掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。光学掩模板是在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC（集成电路）、FPD
