实验半导体方块电阻的测量(共15页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上实验一 四探针法测试半导体的电阻率实验项目性质： 普通实验所涉及课程：半导体物理 计划学时：2学时一、 实验目的1掌握方块电阻的概念和意义；2掌握四探针法测量方块电阻的原理；3学会操作四探针测试仪。二、 实验原理1方块电阻对任意一块均匀的薄层半导体，厚W，宽h，长L。图1 薄层半导体示意图如果电流沿着垂直于宽和厚的方向，则电阻为，当时，表面成方块，它的电阻称为方块电阻，记为，单位为 （1）式中的方块电阻与电阻层厚度h和电阻率有关，但与方块大小无关，这样得到 （2）对于一扩散层，结深为，宽h，长L，则。定义Lh时，为扩散层的方块电阻， (3) 这里的、均为平均电阻率和平均电导率。若原衬底的杂质浓度为，扩散层杂质浓度分布为，则有效杂质浓度分布为。在处，。又假