精选优质文档-倾情为你奉上1. 非晶三个基本特征（1）只存在小区间范围内的短程有序，在近程或次近邻的原子间的键合（如配位数、原子间距、键角、键长等）具有某种规律性，但没有长程序；（2）非晶态材料的X-射线衍射花样是有较宽的晕和弥散的环组成，没有表征结晶态特征的任何斑点和条纹，用电子显微镜也看不到晶粒间界、晶格缺陷等形成的衍衬反差；（3）当温度升高时，在某个很窄的温度区间，会发生明显的结构相变，因而它是一种亚稳相。2. 磁控溅射原理 (1)一定温度下，固体或液体受到高能离子轰击时，其中的原子通过与高能入射离子的碰撞获得足够能量而从表面逃逸，这种从物质表面发射原子的方式被称为溅射（sputtering）(2)磁控是为了在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。通过在阴极靶表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法3. PECVD等离子的作用1)将反应气体激发为活性离子，降低反应所需温度2)加速反应物的表面迁移率，提高成膜速率3)对衬底和膜层溅射清洗，强化薄膜附着力4)等离子中
