电池片工艺流程(共7页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上电池片工艺流程 一、电池片工艺流程: 制绒(INTEX)-扩散(DIFF)-后清洗(刻边/去PSG)-镀减反射膜(PECVD)-丝网、烧结(PRINTER)-测试、分选(TESTER+SORTER)-包装(PACKING) 二、各工序工艺介绍: (一)前清洗 1.RENA前清洗工序的目的: (1) 去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤) (2) 清除表面油污(利用HF)和金属杂质(利用HCl) (3)形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增加了PN结面积，提高短路电流(Isc)，最终提高电池光电转换效率。 2、前清洗工艺步骤: 制绒?碱洗 ?酸洗?吹干 Etch bath:刻蚀槽，用于制绒。 所用溶液为HF+HNO3 ，作用: (1).去除硅片表面的机械损伤层; (2).形成无规则绒面。 Alkaline Ri