SEM实验报告要点(共15页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上扫描电子显微镜实验报告学生姓名 周剑 学生学号 专业班级 材料1112 小组成员 韩彬懿 陈宝山 李明达 2014 年6 月 15 日一 实验目的1.了解扫描电镜的结构、用途及基本原理；2.了解扫描电镜的样品制备；3.通过实际分析，明确扫描电镜和电子探针仪的用途。二 扫描电子显微镜构造2.1 示意图图一 系统方框图图二 扫描电镜外观2.2 扫描电子显微镜各部分介绍扫描电镜主要由三个基本部分组成：1，电子光学系统；2，信号收集处理、图像显示和记录系统； 3，真空系统。2.21 电子光学系统电子光学系统：包括 电子枪、电磁透镜、扫描线圈和图样室电子枪：为了获得较高的信号强度和扫描像，由电子枪发射的扫