一次清洗减薄量监控作业流程(共4页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上文 件 修 订 记 录序号修 改 内 容修改人日 期版本1首次发行谢超凡1. 目的：对一次清洗减薄量进行监控，确保制绒质量。2. 适用范围：156多晶一次清洗工序3. 责任：本工艺说明由工艺部制定修改，生产人员按照要求执行。4. 设备：电子天平5.操作步骤：5.1在电脑上打开“一次清洗减薄量监控”表格，找到当日日期及时间，在对应表格中填写硅片厂家、批次、硅片型号信息，为数据记录做好准备。5.2在已拆盒的原硅片中取8片，层叠整齐后置于电子天平内，待数值显示稳定后读取数值，输入到表格“清洗前”一栏中，