洁净室的测试及验收标准(共7页).doc

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精选优质文档-倾情为你奉上洁净室的测试及验收标准控制洁净室空气参数的目的检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:1、测试状态的确定2、空气中粒子的浓度3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)4、风量和换气次数5、最终过滤器的整体性6、空气温度和湿度7、洁净室的密闭性8、洁净室表面的洁净度测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。空气粒子浓度的检测洁净度级别洁净室和洁净区均按一项指标划分级别一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。

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