精选优质文档-倾情为你奉上二、無塵室基本概念2-1無塵室之定義(Cleanroom)無塵室無塵室(Cleanroom：將空氣微粒子(AirboneParticulate)、溫度、濕度、室壓、靜電、氣流、風速、振動、噪音、照明及微生物等控制在某一規定值內的特定房間，以往被稱CleanRoom。2-2無塵室之規範等級之起源1961年美國Sandia公司首創層流(Laminarflow)清淨室，得到前所未有之清淨環境，對當時美國之APOLO太空計劃有極大的幫肋，此後清淨室技術才逐漸被高科技工業所採用，因而發覺有制定清淨室規格與標準之必要。終於在1963年訂定美國聯邦規範#209。此規範中將清淨度等級分為100、10000及三級，並定清淨度之測試方法、氣流方式、室壓及溫濕度等。其後分別於1966年、1973年、1987年、1988年和1992年，陸續修訂為209A、209B、209C、209D、209E。表2-1美國FS-209D規範重點微粒子等級粒徑m0.50.50.50.50.510,00050.510
