现场洁净室的管理(共4页).doc

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精选优质文档-倾情为你奉上洁 净 室 的 管 理洁净室又称为无尘室,是伴随现代微电子制造业而发展起来的。可以说,无尘室品质的好坏,很大程度上影响产品的良率,直接影响企业的经济利益。洁净室管理主要分为四个方面:洁净室人员进出管理、原物料(设备)进出管理、洁净室内用品管理、环境支持系统管理,以下分别加以说明。一 洁净室人员进出管理1. 在洁净室内的作业人员或其它人员的移动或动作均是发尘源,直接影响制程,同时也会影响气流的扰动,为防止与控制上述情形,基本上需注意下列事项: a.不可在作业区域气流的上方放置物品或做其它作业。 b.不必要的动作尽量避免以防止乱流及发尘。 c.为控制发尘量,人员歩行及作业要静静地进行。 d.作业要在洁净的工作台或工作桌进行。 e. 器具须放在有盖子的箱子或柜中,并置放于规定的地方。2.作业人员须经常保持手的干净,要常洗手、剪指甲,男性须每天刮胡子。3.在洁净车间内洁净衣要经常保持着衣的状态。4.下列所述者不能进入洁净室:a.非作业人员或事先未得许可者。b.没有按照规定穿着洁净衣者。

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