精选优质文档-倾情为你奉上2008年第27卷第1期传感器与微系统(T ransducer andM icrosystem T echno l og ies压力传感器在石化行业的应用与国产化探讨刘仁1,史创2,王晓浩2,唐飞2,张大成3(1.中国石油兰州石油化工公司仪表厂,甘肃兰州;2.清华大学精密仪器与机械学系,北京;3.北京大学微电子学系,北京摘要:分析了石化行业对压力变送器的需求,得出石化行业对压力传感器的要求:测量精度、快速响应、温度特性和静压特性、长期稳定性。微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点,能够满足石化行业对压力传感器的要求。介绍了当前石化领域正在使用的M E M S压力传感器及其结构特点;对比国内外厂商生产的压力传感器性能,明确了压力传感器国产化问题的关键是如何提高传感器长期稳定性问题。关键词:压力传感器;石化行业;国产化中图分类号:TP212文献标识码:A文章编号:1000-9787(-0015-04Analysis of application and localization of pressurese
