拉晶工艺指导书(共29页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上拉晶工艺指导书一、有关说明（一）、晶体直径坩埚转动（连续可调） 1 - 30 rpm 液压缸行程加热功率最大 140 kW- 加热电压0 60 Volt- 加热电流最大 2,300 Amp熔化温度最大 1,600 C主炉室真空泵抽速- 滑阀泵(主泵)大约 70 l/s- 旋片泵(副泵)大约 15 l/s冷态空炉子的极限真空度 3 Pa冷态炉子的泄漏率（压升法）最大 0.3 Pa/min允许工作正压不带泵和走道的空间要求总设备高度外围设施- 冷却水消耗量 最小20 m3/min- 冷却水压力绝对压力 最小 1.5 kg/cm2最大 2.0 kg/c 冷却水回水压