4走題李研究生课程论文科目:教师:姓名:学号:专业:类别:上课时间:考生成绩:卷面成绩平时成绩课程综合成绩阅卷评语:阅卷教师(签名)重庆大学研究生院制摘要本文主要介绍了微细加工技术的概念,微细加工技术中的LIGA 技术,以及在此基础上开发出来的 UV-LIGA技术、Laser-LIGA技术、DEM技术、SLIGA技术等准LGIA 技术的概念、原理、基本工艺、特点 , 以及在微机械、传感器、射频等领域中的应用, 最后在以上基础上分析总结了 LIGA技术的发展方向机趋势。关键词:微细加工技术;LIGA技术;准LIGA技术;微机械;AbstractThis paper mainly introduces the concept of micro machining technology, the LIGA technology of Micro machining technology, and d
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