项目四 电容式传感器的应用一电容式传感器在位移检测中的应用二电容式湿敏传感器在空气湿度检测中应用掌握电容式传感器的调试方法任务一 电容传感器在位移检测中的应用在机床主轴的回转精度不但对于精加工零件的形状精度和表面光洁度有着很大的影响,而且也是评价机床精加工能力的重要指标之一。利用电容式传感器对机床主轴进行回转精度的测量(位移检测),以便预测机床在理想加工条件下所能达到的最小形状误差和粗糙度,判断产生加工误差的原因。d 带电极板,其电容与面积、介电常数成正比,与极板间距成反比。故电容传感器可分为:变极距型、变面积型和变介电常数型三种。 极板间介质的介电常数; = , 为真空中的介电常数S 两平行板所覆盖的面积;d 两平行板之间的距离;C 电容量,单位为F;为相对介电常数 图04-01-001-01 平板型电容器一、电容式传感器的工作原理1.变极距型a)初始电容值b)电容受外力作用,极距减小d电容器容量变为:c)极距增加d电容器容量变为: 图04-01-001-02 变极距式电容传感器u若考虑d/d01时则:u灵敏度: 为了提高传感器的灵敏度,减小非线性,常常把传感器做成差动形式。 变极距