物理气相沉积法制备薄膜设备简单认识.docx

精选优质文档-倾情为你奉上课程论文课 程 名 称 电子功能材料制备 论 文 名 称 气相沉积法制备薄膜设备简单认识 专 业 班 级 电子科学与技术091班 学 生 姓 名 胡启勇 学 号 指 导 教 师 肖清泉 周章渝 理 学 院实验时间： 2013年1月11日气相沉积法制备薄膜设备简单认识一、背景基本知识简介超导是指某些物质在一定温度条件下（一般为较低温度）电阻降为零的性质。1911年荷兰物理学家H卡末林昂内斯发现汞在温度降至4.2K附近时突然进入一种新状态，其电阻小到实际上测不出来，他把汞的这一新状态称为超导态。以后又发现许多其他金属也具有超导电性。低于某一温度出现超导电性的物质称为超导体。人们极其地希望在能够获得在常温下的超导材料，随着集成电