阴极真空电弧原理ppt课件.ppt

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组会报告王振玉在日常生活中,随处都可以看到浪费粮食的现象。也许你并未意识到自己在浪费,也许你认为浪费这一点点算不了什么报告内容阴极电弧的原理1阴极电弧的磁过滤特点2阴极电弧的一些应用3在日常生活中,随处都可以看到浪费粮食的现象。也许你并未意识到自己在浪费,也许你认为浪费这一点点算不了什么阴极电弧沉积(Cathodic Arc Deposition,CAD )是指通过真空电弧放电产生镀膜离子,然后成膜离子以一定的能量沉积到工件表面的镀膜方法,属于物理气相沉积(PVD )方法的一种 。一.阴极电弧的原理1.1.什么是阴极电弧沉积?什么是阴极电弧沉积?在日常生活中,随处都可以看到浪费粮食的现象。也许你并未意识到自己在浪费,也许你认为浪费这一点点算不了什么在日常生活中,随处都可以看到浪费粮食的现象。也许你并未意识到自己在浪费,也许你认为浪费这一点点算不了什么2.阴极电弧的形成过程阴极电弧是在低气压条件下(约102 Pa10-5 Pa)阴阳极之间低电压高电流的气体放电现象。阴极电弧的稳定燃烧电弧中的带电粒子指的是电子、正离子和负离子。引燃电弧和维持电弧燃烧的带电粒子是电子和正离子。其中在阴极电弧

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