Part 1 超大规模集成电路设计基础Chap 2 CMOS工艺与器件Part 1 超大规模集成电路设计导论- Chap2 Chap2 CCMOSMOS工艺与器件工艺与器件- Chap3 Chap3 逻辑门单元逻辑门单元电路电路- Chap4 Chap4 组合逻辑组合逻辑电路电路- ChapChap55 时序逻辑电路时序逻辑电路- ChapChap66 功能块与子系统功能块与子系统CMOS 工艺与器件-CMOSCMOS的概念的概念-CMOSCMOS制造工艺制造工艺-MOSMOS管的电性能管的电性能-连线连线-CMOSCMOS器件的版图设计器件的版图设计半导体及其导电能力n n 半导体 半导体 IV IV族元素(比如硅),最外层 族元素(比如硅),最外层4 4个价电子,通过共价 个价电子,通过共价键形成晶体,处于稳定结构,很难电离或俘获电子 键形成晶体,处于稳定结构,很难电离或俘获电子n n 一般材料纯度在 一般材料纯度在99.9 99.9已认为很高了,有 已认为很高了,有0.1 0.1的杂质 的杂质不会影响物质的性质。但是, 不会影响物质的性质。但是,半导体材料的导电能力 半导体材料的