西南科技大学理学院2013.03.15第五章 Etch 刻 蚀经营者提供商品或者服务有欺诈行为的，应当按照消费者的要求增加赔偿其受到的损失，增加赔偿的金额为消费者购买商品的价款或接受服务的费用Etch 刻蚀内容n 熟悉刻蚀术语n 比较：干法刻蚀、湿法刻蚀n IC 工艺中四种被刻蚀的材料和主要的刻蚀剂n IC 工艺的刻蚀过程n 注意刻蚀工艺中的危险经营者提供商品或者服务有欺诈行为的，应当按照消费者的要求增加赔偿其受到的损失，增加赔偿的金额为消费者购买商品的价款或接受服务的费用Definition of Etchn Process that removes material from surfacen Chemical, physical or combination of the two n Selective or blanket etchn Selective etch transfers IC design image on the photoresist to the surface layer on wafern Other applications: Mask making,
