单晶制程工艺流程ppt课件.pptx

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资源描述

2硅Silicon3硅的物理性质 晶体硅为钢灰色,无定形硅为黑色,密度2.4gcm3,熔点1420 ,沸点2355 ,晶体硅属于原子晶体,硬而有光泽,有半导体性质。硅的化学性质比较活泼,在高温下能与氧气等多种元素化合,不溶于水、硝酸和盐酸,溶于氢氟酸和碱液,用于造制合金如硅铁、硅钢等,单晶硅是一种重要的半导体材料,用于制造大功率晶体管、整流器、太阳能电池等。硅在自然界分布极广,地壳中约含27.6,结晶型的硅是暗黑蓝色的,很脆,是典型的半导体。化学性质非常稳定。在常温下,除氟化氢以外,很难与其他物质发生反应。 4硅的电学性质 一是导电性介于导体和绝缘体之间,其电阻率约在10-4-1010.cm范围内 二是电导率和导电型号对杂质和外界因素(光,热,磁等)高度敏感 无缺陷半导体的导电性很差,称为本征半导体。当掺入极微量的电活性杂质,其电导率将会显著增加,例如,向硅中掺入亿分之一的硼,其电阻率就降为原来的千分之一。5硅的掺杂1. 半导体: 一般而言,半导体材料都是利用高纯材料,然后人为地加入同类型,不同浓度的杂质,精确控制其电子或空穴的浓度.2. 本征半导体:在超纯没有掺入杂质的半导体材料中,

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