EDS元素分析一、实验目的1. 了解能谱仪（EDS）的结构和工作原理。2掌握能谱仪（EDS）的分析方法、特点及应用。二、实验原理在现代的扫描电镜和透射电镜中，能谱仪（EDS）是一个重要的附件，它同主机共用一套光学系统，可对材料中感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。它的主要优点有：（1）分析速度快，效率高，能同时对原子序数在1192之间的所有元素（甚至C、N、O等超轻元素）进行快速定性、定量分析；（2）稳定性好，重复性好；（3）能用于粗糙表面的成分分析（断口等）；（4）能对材料中的成分偏析进行测量，等等。（一）EDS的工作原理探头接受特征X射线信号一把特征X射线光信号转变成具有不同高度的电脉冲信号一放大器放大信号一多道脉冲分析器把代表不同能量（波长）X射线的脉冲信号按高度编入不同频道f在荧光屏上显示谱线f利用计算机进行定性和定量计算。（二）EDS的结构1、探测头：把X射线光子信号转换成电脉冲信号，脉冲高度与X射线光子的能量成正比。2、放大器：放大电脉冲信号。3、多道脉冲高度分析器：把脉冲按高度不同编入不同频道，也就是说，把不同的
