第2章--MEMS设计中的尺度效应ppt课件.ppt

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经营者提供商品或者服务有欺诈行为的,应当按照消费者的要求增加赔偿其受到的损失,增加赔偿的金额为消费者购买商品的价款或接受服务的费用1. 尺度的基本概念尺度问题的基本意义 本章介绍尺度的目的在于提供一些可供选择的尺度规律,使设计者意识到缩小机器和器件尺度所带来的物理后果;并使其明白,一些微型化在物理上是行不通的,或者在经济上是没有意义的。 经营者提供商品或者服务有欺诈行为的,应当按照消费者的要求增加赔偿其受到的损失,增加赔偿的金额为消费者购买商品的价款或接受服务的费用用于微系统的设计尺度规律n 第一种规律是严格依据物体的尺寸,如几何结构的尺度。这类物体的行为由物理定律所决定。n 第二种尺度规律涉及微系统的现象行为尺度,考虑到系统的尺寸和材料特性。经营者提供商品或者服务有欺诈行为的,应当按照消费者的要求增加赔偿其受到的损失,增加赔偿的金额为消费者购买商品的价款或接受服务的费用微系统设计中常涉及的物理量:n 体积n 表面积n 体积与器件的质量和重量有关n 表面特性与流体力学中的压力和浮力有关,与对流热传导中固体热吸收和耗散有关 在一个尺度减小的过程中,同等地减小一个物体的体积和表面积是不可能

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