材料学中常用的分析方法材料学中常用的分析方法Instrumental Analysis inInstrumental Analysis in Materials Science Materials Science北京科技大学材料科学学院 唐伟忠 Tel: 6233 4144 E-mail: 第三讲二次离子质谱（或称离子探针）（火花放电质谱）（火花放电质谱）（辉光放电质谱）（辉光放电质谱）（激光离化质谱）（激光离化质谱）（溅射中性粒子质谱（溅射中性粒子质谱） SIMS /SIMS /（SSMSSSMS）/（GDMSGDMS）/（LIMSLIMS）/（SNMSSNMS）EDX(WDX)提供了微区成分分析能力AES/XPS能够分析表面成分 SIMS也是表面成分分析手段，其特点是什么？质谱类仪器分析粒子质量的原理 在磁场B 之中，质量m、电荷q的荷电粒子将受到磁场力的作用，其偏转半径 R 与粒子的加速电压 V（能量qV）之间满足下述关系: m / q = B2 R 2 / 2Vm / q 称为粒子的荷质比，单位为 amu (atomic mass unit)粒子的（qV）能量越高，其旋转半径（
