中国离子注入机产业全景图(附产业政策、市场规模、竞争格局等).docx

预见2020：中国离子注入机产业全景图（附产业政策、市场规模、竞争格局等）产业链下游应用广泛离子注入机是高压小型加速器中的一种，是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还能用于太阳能电池等的制造。离子注入机也是集成电路制造前工序中的关键设备，半导体为改变载流子浓度和导电类型需要对半导体表面附近区域进行掺杂，而离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，使得离子注入在半导体制造中被广泛应用。图表离子注入机产业链示意图上游中游下游机械材料电气材料仪器仪表真空系统扫描系统离子注入机设计离子注入机制造集成电路制造 IGBT制造太阳能电池制造 AMOLED制造资料来源：前瞻产业硏究院整理国前瞻经济学人图表2=离子注入在半导休产业链中的节刻蚀京他机IC制适产业政策离子注入机成关键研发设备从政策环境上来看，我国对于离子注入机行业