X射线荧光光谱1.原理l X 射线光谱分析法包括： X 射线荧光光谱法（XRF） X 射线衍射光谱法（XRD ）X 射线荧光光谱法是利用元素内层电子跃迁产生 的荧光光谱，应用于元素的定性、定量分析，特别适合于固体表面成分分析。 1.1 什么是X射线l X 射线是介于紫外线和 射线之间的一种电磁辐射，波长范围0.00110nm, 波长大于0.1nm的X 射线称“ 软”X射线，而波长较长的X 射线称“ 硬”X射线。X 射线与物质作用产生衍射现象，这是X 射线作为电磁波的特征，X 射线也可看作具有一定能量的光子。 1.2 X射线荧光的产生l X 射线的能量与原子轨道能级差的数量级相等，待测元素经X 射线照射后，发生X 射线吸收，原子内层电子（如K 层）受到激发，逐出一个电子，形成一个空穴，此时，较外层（如L 层）上的电子发生跃迁来填补这个空穴，这时就会发出特征的X 射线。X 射线激发电子弛豫过程示意图1.3 俄歇效应l 当较外层电子跃迁到空穴时，所释放出的能量随即在原子内部被吸收又释放出另一个较外层的电子时，此效应称为俄歇效应。而所产生的新的光电子叫俄歇电子。它的能量是特征的与入射辐射的能量
