TDLAS湿度传感器与维萨拉湿度传感器性能对比研究作者：贾渠李彦林常洋鞠昱来源：科技创新导报2015年第7期贾渠1李彦林1常洋1鞠昱2,3(1.北京航天易联科技发展有限公司，北京，100074;2.中国科学院电工研究所，北京，100190；3.北京市生物电磁学重点实验室北京100190)摘要：水汽含量对于诸如文物保护、气象、工业生产等领域都有明确标准并需要严格控制，因此能够精确和快速的实现环境湿度监测已成为一大研究热点。现在常用的湿度传感器为芬兰VAISALA生产的湿度传感器系列，但是其测湿部分采用聚合物高分子薄膜电容传感器，存在响应时间长，褪湿慢等缺点，已经不能满足用户需求。基于TDLAS技术的湿度传感器使用半导体激光器作为光源，参考气室提供光谱调节反馈，构成了一种高精度水汽含量检测系统，响应速度快，灵敏度高，可以克服传统湿度传感器的不足。该文以米歇尔露点仪为标准，对比测试了TDLAS湿度传感器与传统的VAISALA电容传感器响应时间、测量精度等性能。证明了TDLAS湿度传感器具有更好的测量准确度与灵敏度。关键词：湿度传感器TDLASVAISALA实验对比
