直拉单晶炉-温度梯度与单晶生长-热场的调整ppt课件.pptx

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直拉单晶硅工艺技术主讲教师:裴迪石油化工学院1在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确 (1)热场的概念 热场也称温度场。热系统内的温度分布状态叫热场。煅烧时,热系统内的温度分布相对稳定,称为静态热场。在单晶生长过程中,热场是会发生变化,称为动态热场。 单晶生长时,由于不断发生物相的转化(液相转化为固相),不断放出固相潜热,同时,晶体越拉越长,熔体液面不断下降,热量的传导、辐射等情况都在发生变化,所以热场是变化的,称为动态热场。 热场的温度梯度在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确 (2) 温度梯度的概念 为了描述热场中不同点的温度分布及分布状态,下面给大家介绍一个“温度梯度”这个概念。 温度梯度是指热场中某点A 的温度指向周围邻近某点B 的温度的变化率。也即单位距离内温度的变化率。在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确 如下图所示,A 点到B 点的温度变化为T1-T2 ,距离变化

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