直拉单晶硅工艺技术主讲教师：裴迪石油化工学院1在整堂课的教学中，刘教师总是让学生带着问题来学习，而问题的设置具有一定的梯度，由浅入深，所提出的问题也很明确直拉单晶炉的热系统 直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料，并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统，它包括：加热器、保温罩、保温盖、托碗（石墨坩埚）、电极等部件。它们是由耐高温的高纯石墨和碳毡材料加工而成的。在整堂课的教学中，刘教师总是让学生带着问题来学习，而问题的设置具有一定的梯度，由浅入深，所提出的问题也很明确 加热系统长期使用在高温下，所以要求石墨材质结构均匀致密、坚固、耐用，变形小，无空洞，气孔率24%，无裂纹，弯曲强度4060MPa，颗粒度0.020.05mm，体积密度1.701.80g/cm3，灰分1 10-4（100ppm），金属杂质含量少，一般检测值在10-4 %10-6 %数量级。在整堂课的教学中，刘教师总是让学生带着问题来学习，而问题的设置具有一定的梯度，由浅入深，所提出的问题也很明确 在直拉单晶硅热场中使用的是各向同性石墨，其特点是：1、石墨粒子各向均匀排列，特性与尺寸、形状、取料方向无关；2、强度高，不易破裂；3
