为深入学习习近平新时代中国特色社会主义思想和党的十九大精神,贯彻全国教育大会精神,充分发挥中小学图书室育人功能微机电系统机械电子工程学院专业选修课程机械电子工程学院专业选修课程Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)为深入学习习近平新时代中国特色社会主义思想和党的十九大精神,贯彻全国教育大会精神,充分发挥中小学图书室育人功能第第55章章 微传感器微传感器 微传感器的基本概念 机械量微传感器 声/光/电/磁/热微传感器 生物化学微传感器为深入学习习近平新时代中国特色社会主义思想和党的十九大精神,贯彻全国教育大会精神,充分发挥中小学图书室育人功能微传感器的基本概念传感器概念 传感器两个部分：感受被测量（敏感元件）/转换成可用输出信号（转换元件）调节器（电）信号AD转换/放大/调制/滤波/解调输出转换器转换成显示、记录或执行的能量形式 为深入学习习近平新时代中国特色社会主义思想和党的十九大精神,贯彻全国教育大会精神,充分发挥中小学图书室育人功能传感器的性能允许的环境条件过载性能工作寿命
