博士论文开题报告-文献综述.docx

学科代码编号上诲衣通丈轡博士学位论文开题报告文献研究生研究方向论文题目入学时间开题时间0040509010王新建吴建生教授姜传海教授材料科学材料学材料科学与工程系2004年9月2005年10月20日年月日0引言11大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述21.1大规模集成电路的发展概况21.2. ULSI中铝互连线的发展41.3. ULSI中铜互连线工艺的提出、发展及存在的问题51.3.1. 铜互连工艺的提出51.3.2. 铜互连技术的主要问题82. 铜互连的扩散阻挡层的发展现状的概述103. 扩散基本理论以及铜互连薄膜中的二维扩散研究的现状123.1. Fick扩散定律及扩散系数133.1.1. Fick第二扩散定律133.1.2.扩