第四章 电容型传感器与测量电路4.1 工作原理及结构类型4.1.1 工作原理电容式传感器实质上是一个可变参数的电容器。由物理学可知,用绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器( 如图4-1 所示) ,当忽略边缘效应时,电容量可表示为图4-1 平板电容器(4-1) 由式(4-1) 可知,当A 、 或 任意参数发生变化时,都会引起电容量C 的变化。实际制作电容式传感器时,都是尽量使A 、 或 三个参数中的两个保持不变,仅改变其中一个参数使电容量发生变化。根据这一原理,电容式传感器可分为三种类型:变极距式、变面积式和变介电常数式。从使用情况来看,闭胸式的使用比较广泛。敞开式盾构之中有挤压式盾构、全部敞开式盾构,但在近些年的城市地下工程施工中已很少使用,在此不再说明。 4.1.2 结构类型 图4-2 所示为常用电容式传感器的结构形式。图4-2(a) 和(b) 为变极距式,图4-2(c) (h) 为变面积式,而图4-2() () 则为变介电常数式。 变极距式一般用来测量微小位移(0.01 0.1 m) ,变面积式则用来测量角位移或较大的线位移,变介电常数式常用来测量介质的厚度、位置、液位以及