认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫”项目第三章 溅射镀膜技术认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫”项目 溅射现象是一百多年前格洛夫（Grove）发现的。 溅射是指荷能粒子轰击固体表面（靶），使固体原子或者分子从表面射出的现象。 溅射原子 轰击出来的粒子大多数呈原子状态 荷能粒子 电子、离子（入射离子）或中性粒子 溅射可以镀膜，也可以进行刻蚀。 溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场作用下高速轰击阴极靶，使靶材中的原子（或分子）逸出而淀积到被镀衬底（或工件）的表面，形成所需要的薄膜。 目前已广泛应用于制备金属、合金、半导体、氧化物、绝缘介质、化合物半导体、碳化物、氮化物及超导薄膜。认识到了贫困户贫困的根本原因，才能开始对症下药，然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视，已经展开了“精准扶贫”项目 溅射镀膜的特点 溅射的基本原理 辉光放电、溅射特性、溅射镀膜过程、溅射机理 溅射镀膜的类型 二极溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、
