第四章-溅射工艺ppt课件.ppt

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认识到了贫困户贫困的根本原因,才能开始对症下药,然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视,已经展开了“ 精准扶贫” 项目微电0801-0803 专业选修课认识到了贫困户贫困的根本原因,才能开始对症下药,然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视,已经展开了“ 精准扶贫” 项目主要讲授内容第2章 真空技术基础第3章 薄膜生长与薄膜结构第4章 薄膜制备的基本工艺 溅射镀膜第1章 薄膜技术简介 离子束沉积 化学气相沉积第6章 薄膜材料的应用第5章薄膜材料的评价表证及物性测量表征、性质和应用 薄膜制备方法的原理介绍 ,典型薄膜材料的制备工艺介绍 真空蒸镀薄膜的形核、生长理论 ,薄膜的形成与典型成长机制What s the thin films?真空的表征及获得认识到了贫困户贫困的根本原因,才能开始对症下药,然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视,已经展开了“ 精准扶贫” 项目4-2 溅射工艺 二、溅射的基本原理辉光放电、溅射特性、溅射镀膜过程、溅射机理三、溅射镀膜的类型二极溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、对向靶溅射、反应溅射、离子束溅射一、溅射镀膜的特点认识到了贫困户

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