第-章-干法刻蚀ppt课件.ppt

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资源描述

篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的,因此,篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统第十章干法刻蚀1篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的,因此,篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统n 刻蚀的概念:用化学或物理的方法有选择地去除不需要的材料的工艺过程称为刻蚀。由于硅可以作为几乎所有集成电路和半导体器件的基板材料,所以本章主要讨论在硅基板表面的刻蚀过程。n 刻蚀示意图: 刻蚀概述2篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的,因此,篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统刻蚀概述n 刻蚀的工艺目的:把光刻胶图形精确地转移到硅片上,最后达到复制掩膜版图形的目的。它是在硅片上复制图形的最后主要图形转移工艺。n 刻蚀工艺分类:干法刻蚀和湿法刻蚀干法刻蚀:通过气体放电,使刻蚀气体分解、电离,由产生的活性基及离子对基板进行刻蚀的工艺过程;刻蚀精度:亚微米。湿法刻蚀:把要腐蚀的硅片放在化学腐蚀液里去除表面层材料的工艺过程;刻蚀精度:大于3微米。3篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的,因此,篮球比赛的计时计分系统是

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