第六章外延生长ppt课件.ppt

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篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的,因此,篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统第六章 外延生长(Epitaxial Growth)篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的,因此,篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统外延生长(Epitaxial Growth )工艺 概述 概述 气相外延生长的热动力学 气相外延生长的热动力学 外延层的掺杂与缺陷 外延层的掺杂与缺陷 硅气相外延工艺 硅气相外延工艺 小结 小结参考资料: 参考资料:微电子制造科学原理与工程技术 微电子制造科学原理与工程技术第 第14 14章 章(电子讲稿中出现的图号是该书中的图号) (电子讲稿中出现的图号是该书中的图号)篮球比赛是根据运动队在规定的比赛时间里得分多少来决定胜负的,因此,篮球比赛的计时计分系统是一种得分类型的系统外延层 外延层界面 界面衬底 衬底一、概述 按衬底晶相延伸生长的 按衬底晶相延伸生长的新生单晶薄层 新生单晶薄层 外延层 外延层。 。 长了外延层的衬底 长了外延层的衬底 外延片 外延片。 。 同质外延 同质外延: : 异质外延 异质外延: : 掺入

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