半导体工艺原理----硅的异质外延技术(2012.3.31)(贵州大学)ppt课件.ppt

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资源描述

为了规范事业单位聘用关系,建立和完善适应社会主义市场经济体制的事业单位工作人员聘用制度,保障用人单位和职工的合法权益硅的异质外延技术l 随着大规模、超大规模集成电路的进展,外延技术的应用越来越广泛,除了在硅衬底上进行硅的同质外延之外,还发展了在蓝宝石、尖晶石衬底上进行硅的“SOS”外延生长和在绝缘衬底上进行硅的“SOI”异质外延。为了规范事业单位聘用关系,建立和完善适应社会主义市场经济体制的事业单位工作人员聘用制度,保障用人单位和职工的合法权益2SOS技术l SOS是“SilicononSapphire”和“SiliconOnSpinel”的缩写,也就是在蓝宝石或尖晶石衬底上外延生长硅。l 蓝宝石(-Al203)和尖晶石(MgOAl203)是良好的绝缘体,以它们为衬底外延生长硅制做集成电路,可以消除集成电路元器件之间的相互作用,不但能减少漏电流和寄生电容,增强抗辐射能力和降低功耗,还可以提高集成度和实现双层布线,是大规模、超大规模集成电路的理想材料。为了规范事业单位聘用关系,建立和完善适应社会主义市场经济体制的事业单位工作人员聘用制度,保障用人单位和职工的合法权益1、衬底材料的选择l

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