化学气相沉积技术ppt课件.pptx

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烧伤病人的治疗通常是取烧伤病人的健康皮肤进行自体移植,但对于大面积烧伤病人来讲,健康皮肤很有限,请同学们想一想如何来治疗该病人1Review第三章:物理气相沉积技术热蒸发镀膜溅射镀膜离子镀膜工作原理+工艺方法!2第四章 化学气相沉积技术n 热氧化生长n 化学气相沉积烧伤病人的治疗通常是取烧伤病人的健康皮肤进行自体移植,但对于大面积烧伤病人来讲,健康皮肤很有限,请同学们想一想如何来治疗该病人3薄膜制备方法:n 物理气相沉积法被镀材料由固态转变为气态时没有化学反应发生。n 化学气相沉积法沉积过程中发生一定的化学反应;化学反应可以由热效应或离子的电致分离引起。特点:沉积过程控制复杂,但设备较为简单。前言烧伤病人的治疗通常是取烧伤病人的健康皮肤进行自体移植,但对于大面积烧伤病人来讲,健康皮肤很有限,请同学们想一想如何来治疗该病人4第一节 热氧化生长 (Thermal Oxidation)在气氛条件下,通过加热基片的方式制备氧化物、氮化物和碳化物薄膜。加热设备基片在氧气或者其它气氛中加热Examples: 4Al+3O22Al2O3Fe+N2FeNx烧伤病人的治疗通常是取烧伤病人的健康皮肤进行自

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