物理法多晶硅英雄榜一、多晶硅生产技术的背景 多晶硅主要采用化学提纯、物理提纯两种方法进行生产，其中化学提纯方法主要有西门子法（气相沉淀反应法）、硅烷热分解法、流态化床法，物理提纯方法主要有区域熔化提纯法（FZ）、直拉单晶法（CZ）、定向凝固多晶硅锭法（铸造法），等等。目前最为成熟的多晶硅提纯工艺是西门子法。 以往，国际主流厂商大多采用西门子法进行多晶硅的生产。方法是在流化床反应器中混合冶金级硅和氯化氢气体，最后得到沸点仅有31C的三氯化硅。随后将三氯化硅和氢气的混合物蒸馏后再和加热到1100C的硅棒一起通过气相沉积反应炉中，从而除去氢气，同时析出固态的硅，击碎后便成为块状多晶硅。这样就可以得到纯度为99.%（9个9，或者叫9N）以上的硅。这是直到2004年以前，全世界唯一采用的生产多晶硅的方法。 西门子法提纯多晶硅需要维持1100oC 的高温，因此耗费大量电能，造成成本居高不下。一般来说，发达国家新建多晶硅厂需投资$100/kg。一个1000吨的工厂投资需要人民币10亿元左右，每吨的成本在4-60万人民币左右。
