太阳能级多晶硅生产工艺.doc

潞安职业技术学院毕 业 论 文太阳能级多晶硅生产工艺 姓 名：卫雅聪 专 业：矿物加工技术 班 级：矿物加工 学 好：指导老师：冯锦华、韩晓晶日 期：2013-10-1目录摘 要1前言11 改良西门子法闭环式 SiHCl3 氢还原法12 新硅烷法硅烷热分解法23 流化床法34 冶金法45 蒸汽液体沉积法56 热交换炉法67 无氯技术68 铝热还原法79 常压下碘化学气相传输净化法710 锌还原法8总结9参考文献10致 谢11摘 要 本文阐述了挥发性硅化物还原或分解法和冶金级硅精炼法生产太阳能级多晶硅的生产工艺。目前生产多晶硅的主要方法是改良的西门子法，但该方法在降低生产成本上显得力不从心。冶金级硅精炼法是一种制备低成本太阳能级多晶硅的方法，然而该方法不能有效地去除和，只能选择和含量很少的冶金级硅为原料制备多晶