發料裁板製程:內層板發料裁板作業 目的:將上游工廠生產大面積(48”*42”)基板以自動裁板機鋸切成所需要之尺寸(例:24”*21”) 流程:依生產流程單規定之發料尺寸,輸入程式並檢查機台與鋸片狀況 基板疊放整齊先予以修邊,裁出板材基本面 自動裁板機按輸入程式數據,自動作業裁出需求規格 裁出完成板材之板邊burr以細砂紙研磨後送交內層前處理 內層製程製程(一):前處理目的:去除板面之油漬、鉻、鋅等,並使銅面具有良好之粗糙度。 流程:微蝕:微蝕槽(H2SO4/H2O2,SPS/H2SO4)水洗(CT水)烘乾 電解脫脂:電解槽(NaOH、KOH) 水洗(CT水)酸洗(HCL)水洗-烘乾 製程(二):壓膜壓膜機目的:以熱壓滾輪將DRY FILM(UV光阻劑)均勻覆蓋於銅箔基板上 壓膜後的基板製程(三):曝光目的:以UV光照射使底片之線路成像於基板之乾膜上 原理: D/F之光起始劑 照光(UV) 自由基 聚合反應 & 交聯反應 線路成像 製程(四):顯影、蝕銅、去膜連線1. 顯影