300mm半导体代工厂Slurry供应系统设计中的品质管理进入2008年，随着中国半导体行业的继续发展，晶圆代工业呈现出一片繁荣之势。据资料显示，截至2008年2月，国内已建的12英寸线3条，正在建设的2条，拟建的4条。已建的8英寸线16条，在建的7条，拟建的2条。随着晶圆面积的不断增大，集成电路的单位成本与价格不断降低，但投资成本却持续增高，由此导致生产线上出现的任何问题都有可能造成极大的损失。另外，由于制程的不断发展，线宽越来越窄，工艺的要求也越来越高，这些因素都对代工厂各系统的持续无故障运行能力以及所提供的制程相关原料品质提出了更高的要求。代工厂的气体、化学和纯水系统为整条生产线提供气体、化学品和纯水，它们与晶圆表面直接接触，所以这些系统被称为制程相关系统。制程相关系统的稳定与否直接关系生产线制造是否正常。本文将重点介绍300mm代工厂slurry供应系统的分类、架构、品质保证与监控、安全设计，并且结合工作中出现问题进行了设计上的探讨。本论文通过对是slurry供应系统设计的探讨，具体解决其中出现的种种关于品质管理的问题。将使得厂务slurry供应系统
