目 次壹、前言1貳、術語與定義2參、空調系統7肆、環境測試項目的選定16伍、潔淨室（潔淨區）驗證所需的測試程序19一、風速、風量（均勻性）與空氣換氣數測試19二、 HEPA過濾器洩漏測.24三、空氣懸浮微粒計數 28四、房間壓差測試 32五、氣流平行性測試33六、溫度與濕度均勻性測試35 （一）一般性溫度與濕度均勻性測試35 （二）綜合性溫度與濕度均勻性測試37七、潔淨區隔完整性測試41八、回復測試42九、微粒落塵計數
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