JZ460炉操作与使用手册.docx

目录JZ-460炉型操作与使用手册31 综述31.1 概述31.2 工作原理31.3 工艺过程与技术特征31.4 主要技术参数31.5 附件62 设备结构说明62.1 结构简述62.2 炉体支架与下腔室提升驱动装置72.3 炉体腔室82.4 热场系统92.5 钢笼提升系统102.6 测温系统112.7 气路系统122.8 水冷系统163 操作界面介绍173.1 操作主界面183.2 模式界面193.3 配方界面263.4 手动界面293.5 曲线界面373.6 报警界面403.7 退出按钮414 操作说明424.1 概述424.2 装料424.3 检查444.4 抽真空、检漏454.5 自动运行454.6 出炉475 安全保护说明485.1 安全保护规定485.2 氩气保护485.3 压缩空气保护485.4 腔室上升下降安全485.5 硅锭出炉安全防护495.6