激活能Ea的计算.doc

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资源描述

快速确定微电子器件失效激活能及寿命试验新方法的研究李杰 郭春生程尧海 李志国(北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京 )摘要:提出了一种新的微电子器件快速评价方法温度斜坡法,建立了确定失效激活能的新模型和寿命外推新模型,使用此模型可计算出单支器件的失效激活能并外推其寿命。同时,该方法的试验温度范围较宽,可以触发不同温度范围的多种退化模式,实现对不同退化机理的研究。关键词: 温度斜坡 ;激活能;多退化机理PACC:3520G;8170中图分类号:TN32 文献标识码:AA NEW METHOD OF RAPIDLY CONFIRMING ACTIVATION ENERGYAND EXTRAPOLATING LIFE OF ELECTRONIC DEVICELi Jie , Guo Chunsheng,Cheng Yaohai,Li Zhiguo(College of Electronic Information and Control Engineering, Beijng University of Technology, Beij

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